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我们深入研究了飞秒激光刻蚀硅的物理机理，采用时间分辨光谱技术研究了刻蚀过程中羽流的稳态及瞬态性质，获得了羽流内不同粒子动态演化的时间信息，并探讨了不同气氛下羽流演化的差别以及硅表面不同形貌维纳结构的形成原因。
飞秒激光改性材料的机理及应用
【摘 要】
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我们深入研究了飞秒激光刻蚀硅的物理机理，采用时间分辨光谱技术研究了刻蚀过程中羽流的稳态及瞬态性质，获得了羽流内不同粒子动态演化的时间信息，并探讨了不同气氛下羽流演
【机 构】
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广西民族大学理学院,广西南宁市大学东路188号,530006南开大学物理学院,天津市卫津路94号,300071
【出 处】
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广西光学学会2015年学术年会
【发表日期】
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2015年10期
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