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本文采用加热的调谐单探针研究了射频辉光放电等离子体空间电子能量分布函数，电子平均能量和电子密度，并系统地分析了各工艺参量对于等离子体空间电子特性的影响。
调谐单探针研究等离子体电子特性
【摘 要】
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本文采用加热的调谐单探针研究了射频辉光放电等离子体空间电子能量分布函数，电子平均能量和电子密度，并系统地分析了各工艺参量对于等离子体空间电子特性的影响。
【机 构】
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汕头大学物理系,汕头,广东515063
【出 处】
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第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
【发表日期】
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2004年期
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