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本文对二十世纪硅微电子技术的进展进行了回顾，分析了一系列新兴微电子技术的现状及其要求，并就其未来发展趋势进行了初步探讨。
微电子技术发展趋势初步探讨
【摘 要】
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本文对二十世纪硅微电子技术的进展进行了回顾，分析了一系列新兴微电子技术的现状及其要求，并就其未来发展趋势进行了初步探讨。
【机 构】
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防化研究院,北京1044信箱203号,102205
【出 处】
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2004中国集成电路产业发展研讨会暨第七届中国半导体行业协会集成电路分会年会
【发表日期】
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2004年12期
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