【摘 要】
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基于射频放电条件(包括有无磁场),会出现三种主要的功率耦合机制类型:容性耦合,感性耦合,波耦合.外部磁场的加入,很大程度上改变了射频放电等离子体的介电性,使得电磁波可以深入等离子体内部传播,即在一定的等离子体密度条件下实现波耦合放电,也称为螺旋波放电.螺旋波放电过程经历了由容性向感性再向波耦合模式的转变,进而实现高电离效率得到高密度等离子体.开展了以氩气为工质气体的放电光谱诊断,对螺旋波等离子体的
【机 构】
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等离子体动力学重点实验室,空军工程大学,西安市,710038,中国 等离子体动力学重点实验室,空军
【出 处】
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第四届电磁冶金与强磁场材料制备年会暨第六届磁流体力学学术研讨会
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基于射频放电条件(包括有无磁场),会出现三种主要的功率耦合机制类型:容性耦合,感性耦合,波耦合.外部磁场的加入,很大程度上改变了射频放电等离子体的介电性,使得电磁波可以深入等离子体内部传播,即在一定的等离子体密度条件下实现波耦合放电,也称为螺旋波放电.螺旋波放电过程经历了由容性向感性再向波耦合模式的转变,进而实现高电离效率得到高密度等离子体.开展了以氩气为工质气体的放电光谱诊断,对螺旋波等离子体的放电特性以及气体压力的影响进行研究.通过对氩离子400-500nm 波长范围的谱线相对强度的测量,发现螺旋波放电过程中分别在射频输入功率为300W 和1000W 附近发生容性向感性和感性向波耦合模式的两次转变,放电宏观特征发生显著变化.针对氩原子740-920nm 波长范围的谱线,利用光强比值法和玻尔兹曼斜率法对电子温度进行了计算与分析,随着氩气压力的增加,各波长谱线强度均增加,计算发现电子温度呈增加趋势,当压力增加到1.0pa 之后,谱线强度增加趋势变缓甚至达到饱和状态,此时电子温度达到5.5eV.适当增加放电气体压力,有助于提高功率耦合效率,提升电子温度.
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