电子束蒸发沉积ITO透明导电薄膜的物理性质研究

来源 :第九届全国LED产业研讨与学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bareet
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目前制备ITO薄膜方法有蒸发、磁控溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解喷涂等,本文采讨论用电子束加热蒸镀的方法制备ITO薄膜,并研究ITO薄膜光电特性.
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