紫外光学膜镀膜研究

来源 :第四届全国激光科学技术青年学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:quiet11
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该文报告用于中国原子能科学研究院“天光一号”KrF激光核聚变实验装置的Al<,2>O<,3>/MgF<,2>光学增透膜与HfO<,2>/SiO<,2>光学高反膜的实验研究成果。内容包括膜实选择、膜系结构、基片加工、镀膜条件、破坏阈值等。实验结果表明,HfO<,2>/SiO<,2>垂直高反光学膜,在熔融石英基底上与在K9光学玻璃基底上,通过使用λ/2光学附加层可使其破坏阈值分别提高了85℅与50℅;400℃的热处理导致该高反膜在熔融石英基底上破坏阈值下降10℅,在K9光学玻璃基底上,破坏阈值提高了10℅;HfO<,2>/SiO<,2>垂直高反射光学膜与Al<,2>O<,3>/MgF<.2>垂直增透膜的破坏阈值分别已经达到了1.71J/cm<’2>与1.74J/cm<’2>。
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