【摘 要】
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利用射频磁控溅射技术,在不同的衬底温度下,在普通玻璃和石英玻璃衬底上沉积了CdTe/ZnTe 多层薄膜.利用X 射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构、形貌特性进行了表征.采用紫外-可见光分光光度计,研究了温度对薄膜光学性能的影响.在普通玻璃和石英玻璃衬底上沉积的CdTe/ZnTe 多层薄膜,均为六角、立方晶系的多晶结构;温度升高,可见光吸收边向长波移动;衬底沉积温度越高,其表面
【出 处】
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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)
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利用射频磁控溅射技术,在不同的衬底温度下,在普通玻璃和石英玻璃衬底上沉积了CdTe/ZnTe 多层薄膜.利用X 射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构、形貌特性进行了表征.采用紫外-可见光分光光度计,研究了温度对薄膜光学性能的影响.在普通玻璃和石英玻璃衬底上沉积的CdTe/ZnTe 多层薄膜,均为六角、立方晶系的多晶结构;温度升高,可见光吸收边向长波移动;衬底沉积温度越高,其表面颗粒越均匀.
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