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Measurement and Characterization of Multi-scale Complex Surfaces Using Gaussian Process Model
【机 构】
:
Insitute of Robotics,Shanghai Jiao Tong University,China
【出 处】
:
第6届纳米操纵、制造与测量国际会议( the International Conference IEEE 3M-NANO
【发表日期】
:
2016年5期
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