【摘 要】
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随着半导体产业的迅猛发展，高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而，生产高纯CF4的技术报道较少，限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术
【机 构】
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佛山市华特气体有限公司,广东佛山528241
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随着半导体产业的迅猛发展，高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而，生产高纯CF4的技术报道较少，限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术，并作出了展望，同时对产品纯化所涉及的碱洗、低温精馏、吸附等方法进行了概述。根据本公司现行的生产工艺，生产的高纯CF4质量好成本低，可以满足国内市场的需要。
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