【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在ITO/glass衬底上制备了BiFeO3薄膜.研究了退火温度对BiFeO3薄膜样品的晶体结构、显微结构和铁电性能的影响,退火温度分别为450,475,500和525℃.并分析了相
【机 构】
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山东建筑大学,山东济南250101山东女子学院,山东济南250300
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采用溶胶-凝胶法在ITO/glass衬底上制备了BiFeO3薄膜.研究了退火温度对BiFeO3薄膜样品的晶体结构、显微结构和铁电性能的影响,退火温度分别为450,475,500和525℃.并分析了相关机理.结果表明:当退火温度不高于500℃时,薄膜结晶较好,表面致密平整,随退火温度升高薄膜晶粒逐渐长大,当退火温度为500℃时,剩余极化强度Pr为62 μC/cm2;当退火温度增加到525℃时,薄膜表面晶粒较不均匀且出现了较多气孔,薄膜的铁电性能较差.
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