【摘 要】
:
在基于莫尔条纹相位匹配的纳米压印对准方案中,因阻蚀胶引入引起莫尔条纹图像对比度下降,进而导致对准精度下降。针对这一问题,提出利用优化的标记材料制备光栅标记来提高莫尔条纹图像对比度的方法。通过二维时域有限差分计算,对模板及基底上采用的光栅标记材料进行优化,得到模板和基底标记的材料折射率分别为1.8-2.0和2.7时,莫尔条纹图像对比度得到最大值。根据上述分析,优化的光栅标记材料定为:模板光栅标记为折
【机 构】
:
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西 西安 710054 西安交通大学机械制造系统工程
【出 处】
:
2011年全国半导体光源系统学术年会
论文部分内容阅读
在基于莫尔条纹相位匹配的纳米压印对准方案中,因阻蚀胶引入引起莫尔条纹图像对比度下降,进而导致对准精度下降。针对这一问题,提出利用优化的标记材料制备光栅标记来提高莫尔条纹图像对比度的方法。通过二维时域有限差分计算,对模板及基底上采用的光栅标记材料进行优化,得到模板和基底标记的材料折射率分别为1.8-2.0和2.7时,莫尔条纹图像对比度得到最大值。根据上述分析,优化的光栅标记材料定为:模板光栅标记为折射率2.0的ITO;基底光栅标记为折射率2.7的Cr。实验结果表明:在光栅副的间隙介质分别为折射率1.6的阻蚀胶和折射率1.3的水时,采用优化材料的光栅标记得到的莫尔条纹图像的对比度比原标记分别提高了11.92%和4.66%。
其他文献
结合工程案例,阐述了有纺土工织物在软土地基中的应用效果。采用改进的太沙基承载力公式计算证明土工织物在软土地基中起到的隔离和加筋作用。结果表明,在软土地基上铺设土工织物可以提高地基稳定性,同时可以利用土工织物替代地基上层的部分回填材料。
针对深厚软土地基上进行海堤固结排水填筑设计时,必须考虑堤身的沉降与稳定、施工期间及长期的稳定安全系数和工后沉降等的问题,利用岩土工程有限元软件PLAXIS对这些问题进行有效的数值模拟分析。七姓涂围涂工程数值模拟分析表明,PIAXIS程序计算沉降成果较好,与实测结果比较相符,可用于施工单位在实际施工中优化施工方案,达到缩短工期,节约成本的目的。
针对沭新河北船闸的工程实例,借助三维有限元分析软件MSC.MARC对船闸建立有限元模型,考虑船闸在运行期中的各种工况,对船闸结构位移情况进行分析,比较归纳船闸的各个组成部分的位移情况,并结合实际观测结果,分析研究船闸的安全状况。分析结果表明,三维有限元分析能适应各种复杂变形和受力特点,可以提高对工程问题的计算效率和计算精度,分析结果能较直观、精确反映建筑物整体位移状况,可为船闸的维护提供一定的依据
为了在高山峡谷的火成岩中选择合适的水电站坝址地基,根据官地电站前期地表地质调查和钻孔定向取芯揭示的节理、错动带发育分布情况,以及地应力松弛状况判断河谷水平卸荷松弛区域位于左岸,开挖揭示证实了水平卸荷松弛区域位于左岸8号、9号坝段。为了减少开挖工程量和节约工期,设计上利用8号坝段下游山体作为抗力体,采取了对7-10号并缝措施,满足了大坝抗滑稳定要求。
在总结国内外对TDG过饱和问题研究的基础之上,通过物理模型试验并结合数值模拟,以鱼道模型为例研究了绕流、回流等复杂流动条件下过饱和TDG的释放过程及释放系数。结果表明,鱼道模型内挡墙等建筑物的布置使水流出现绕流、回流等复杂水力学特征,由此增加了水体在鱼道内的滞留时间和局部区域的紊动动能,大大增加了过饱和TDG的释放。分析显示,在高紊动区域,过饱和TDG的释放速率与紊动强度成正相关关系。
为确保工程安全高效运用,高港泵站下层流道自流引江时需自动控制,通过改造闸高的测量方式,研制自动控制程序,实现了定流量闸门的自动调节。在介绍控制的要求的基础上,详细介绍了控制的实现方法,包括闸门高度的测量方式改进、控制算法、程序的编写和监控界面的制作,以及程序的功能。实际运用结果表明,研制的定流量自动控制闸门高度程序实现了工程安全、高效、科学运用,同时也降低了运行人员的工作强度。
详细阐述了洪水风险图国内外研究进展,总结了国内洪水风险图在基础资料收集、制作软件系统、风险图信息表达及应用对象等方面存在的问题,最后针对相关问题从加强基础数据库建设、开发通用的洪水风险图制作软件系统、扩大应用对象研究、与洪水预报和防洪调度耦合研究、新技术在洪水风险图中的应用研究以及开展对洪水风险图的后期评价等方面对国内洪水风险图研究方向进行了展望。
层状复合磁电材料具有巨磁电效应,其磁电电压系数要远远大于单相磁电材料。研究者关注了各种不同材料成分和结构的复合磁电材料的磁电特性,研究了各种复合磁电材料的性能。磁电层状复合材料在磁场传感器等领域有很好的应用前景。但用于无线电能传输,目前的研究还比较少。本文利用体积为3.2cm3的层状复合磁电材料实现了450mW电功率的无线传输,并对LED照明设备进行无线供电,达到了很好的照明效果。在实际的无线能量
本文首先从OLED器件结构以及碳纳米管(CNTs)的特点说明了采用碳纳米管替代ITO作为OLED器件阳极的优势。然后对CNTs制备阳极薄膜所采用的柔性衬底,如金属薄片、玻璃和聚合物等进行了分类说明,并对在这些衬底制备CNTs薄膜以及对CNTs导电薄膜进行后期处理和修饰技术进行了总结。在此基础上在我们采用喷涂法制备了CNTs导电薄膜并采用PEDOT对其进行修饰,制备了柔性的OLED,结果表面,PED
发展高Al成分的紫外和近紫外半导体芯片符合资源节省、高能密度、高显色性白光要求以及发展独立知识产权和可持续发展的LED全生命周期评价标准的技术趋势。针对现有的紫外LED材料AlGaN和InGaN量子效率远低于蓝光LED现状,我们联合开展了AlInGaN四元合金材料的MOCVD研发试验,通过成分设计和调整,禁带宽度覆盖从紫外到红外区域,得到无应变量子阱结构,减小了压电效应,提高电子和空穴的复合效率,