法国SOFRADIA公司红外焦平面器件研制概况

来源 :中国航空学会光电技术研讨及学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xulingxuan
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法国SOFRADIA公司研制的红外焦平面器件(IRFPA)在当今世界上处于领先地位,它的产品是建立在突破了HgCdTe材料生长、光伏探测器制备、硅CCD信息处理电路的研制、混合式铟柱互连工艺和制冷等关键技术基础之上。他们以研制288×4扫描型长波HgCdTeIRFPA为基本部件,根据应用的需要发展了多种扫描型IRFPA。94年研制了用CMOS读出电路的凝视型IRFPA。在90年代初根据国际形势的变化及时地提出了发展的新战略:在以提高性能满足军事需求的同时,提出以降低价格为目标,采取提高探测器工作温度,降低制冷要求,研制200K热电制冷型的中波HgCdTeFPA和发展室温硅微型测辐射计,同时采取提高生产效率,降低生产成本等措施兼顾军民二个方面应用的需要。该文介绍SOFRADIA公司发展的历史,它研制IRFPA的几个主要研制阶段,它的基本工艺技术和新的发展设想。
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