静电驱动光开关结构和位移的在线测量

来源 :第八届敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaosongs

【摘要】

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本文报道了利用测量显微镜和WYKO搭建的微机械测试台.利用该测试台测得了静电驱动的光开关竖直方向位移.实验表明,利用静电力作为微吸引力,可测得复杂的悬空结构尺寸.测量数

【作者】

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王浙辉;王跃林;

【机构】

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传感技术国家重点联合实验室,中国科学院微系统与信息技术研究所

【出处】

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第八届敏感元件与传感器学术会议

【发表日期】

：

2003年期

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本文报道了利用测量显微镜和WYKO搭建的微机械测试台.利用该测试台测得了静电驱动的光开关竖直方向位移.实验表明,利用静电力作为微吸引力,可测得复杂的悬空结构尺寸.测量数据能和扫描电镜测量数据符合.本方法具有测量速度快的特点,适合静电驱动悬空结构的微机械器件在线检测.环境的震动和电极间微细颗粒是影响测量精度的主要因素.

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