【摘 要】
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第三代全方位离子注入与沉积技术(HL-PIII技术)是目前一种新的、高性能的材料表面改性技术.HL-PIII技术实现的核心设备是高压脉冲放电电源.本文以HL-PIII技术中高压脉冲放电电源作为研究对象,设计了一台以LCC高频谐振变换器作为充电器、以级联叠加模块化方式输出幅值为3kV、放电频率10kHz、放电脉宽为30us、脉冲上升时间小于30ns、脉冲顶降为小于5％的脉冲电源.该电源的特点在于输出
【机 构】
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燕山大学电力电子节能与传动控制河北省重点实验室,秦皇岛 066000 北京航天发射技术研究所,北京
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第三代全方位离子注入与沉积技术(HL-PIII技术)是目前一种新的、高性能的材料表面改性技术.HL-PIII技术实现的核心设备是高压脉冲放电电源.本文以HL-PIII技术中高压脉冲放电电源作为研究对象,设计了一台以LCC高频谐振变换器作为充电器、以级联叠加模块化方式输出幅值为3kV、放电频率10kHz、放电脉宽为30us、脉冲上升时间小于30ns、脉冲顶降为小于5％的脉冲电源.该电源的特点在于输出电压可以灵活配置、各个充放电模块驱动完全自供电.通过在纯阻性负载上的实验表明,该电源的输出技术指标达到了设计要求.
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