【摘 要】
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采用超磁致伸缩材料(TbxDy1-xFe2-y)、压电材料与谐振音叉复合构建了一种新型谐振磁场传感器.谐振音叉采用三梁对称结构,黏结于中间梁两端的PZT压电薄膜,分别用于激励音叉产
【机 构】
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广东省清远市质量计量监督检测所,广东511518
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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采用超磁致伸缩材料(TbxDy1-xFe2-y)、压电材料与谐振音叉复合构建了一种新型谐振磁场传感器.谐振音叉采用三梁对称结构,黏结于中间梁两端的PZT压电薄膜,分别用于激励音叉产生横向振动和探测该振动.谐振音叉通过陶瓷支座与磁致伸缩材料连接.在静态或准静态磁场作用下磁致伸缩材料产生的应力通过陶瓷支座传递至谐振音叉,使音叉受到纵向拉伸作用,从而导致横向振动的谐振频率增加.理论分析表明,音又谐振频率的偏移随着磁场强度的增加近似线性递增,因此可通过测量谐振频率的偏移测量静态或准静态磁场.采用铍青铜加工三梁谐振音叉的试验结果表明,在0～1000Oe的静态磁场作用下,谐振频率的偏移量达到了2.1％.
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