磁控溅射技术的新进展

来源 :首届全国耐蚀耐磨技术及工程应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lygzzm
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采用3KW射频电源在经真空电弧镀涂敷了NiCrAlY过渡层的涡轮和导向叶片上沉积ZrO〈,2〉陶瓷层,对其组织结构与元素面分布进行了电子探针测试。对NiCrAlY涂层进行喷丸形变处理,研究了不同时效温度下应力
用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出好的附着性、低电阻率、高透射率ZnO:Al的透明导电膜,研究了薄膜的结构、电学和光学特性。
在等离子体源离子注入的同一真空室中安放多个不平衡磁控溅射靶,将磁控溅射气相沉积与等离子体源离子注入结合起来,可以实现多种元素的离子注入,离子注入混合,离子复合注入和形成