【摘 要】
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通过磁控溅射系统制备出一系列调制周期相同的VN/TiB2 纳米多层膜，通过改变调制比研究其对薄膜性能的影响.利用X 射线衍射分析(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和纳米压痕硬度计表征了薄膜的显微结构、调制结构和机械性能.结果 表明：VN/TiB2 多层膜具有良好的周期性调制结构，调制界面清晰，其硬度出现异常升高，明显高于单层膜的机械性能.在调制比为5：1 出现了硬度峰值(39.3 GPa)，多层
【机 构】
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天津师范大学物理与材料科学学院能源与材料工程中心,天津,300387;天津储能材料表面技术国际联合研究中心,天津,300387
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通过磁控溅射系统制备出一系列调制周期相同的VN/TiB2 纳米多层膜，通过改变调制比研究其对薄膜性能的影响.利用X 射线衍射分析(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和纳米压痕硬度计表征了薄膜的显微结构、调制结构和机械性能.结果 表明：VN/TiB2 多层膜具有良好的周期性调制结构，调制界面清晰，其硬度出现异常升高，明显高于单层膜的机械性能.在调制比为5：1 出现了硬度峰值(39.3 GPa)，多层膜的残余应力、抗断裂能力和塑料恢复能力也有了较大改善.周期性共格生长的调制结构和VN(200)相取向生长是其产生超硬效应的主要原因.
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二维原子晶体材料因其丰富而又独特的光电特性正日益受到关注.二硫化钼(MoS2)的带隙随着其厚度的减小而增大,单层二硫化钼是直接带隙半导体(1.9 eV).基 于二硫化钼的光电器件显示出了良好的性能[1,2].随着化学气相沉积法(CVD)生长二硫 化钼的技术日益成熟,二硫化钼有望投入实际应用.但是目前生长的二硫化钼不可避免地存 在晶界.实验已经证实晶界会降低场效应晶体管的电导率[3,4].本文重点研
大型空间环境模拟器(以下简称环模设备)用于在地面模拟太空真空、冷黑及外热流环境，是卫星、飞船等航天器开展热平衡热真空试验必不可少的重要设备.环模设备通常由容器系统、真空系统、低温系统、测控系统、氦系统等多个分系统组成.真空系统用于获得卫星热试验用的容器真空度，通常要求真空度优于1.3ⅹ10-3Pa.真空系统一般包括粗抽真空系统、高真空系统、分子泵检漏系统、低温泵再生系统、残余气体分析系统以及上述各
大功率激光技术的发展，要求光学系统具有更强的抗损伤能力，光学薄膜是激光系统中重要而易损的薄弱环节。寻求光学特性良好、抗激光损伤能力强的高折射率材料有着重要的工程意义。本文针对LaTiO3 这种高折射率低吸收镀膜材料，采用射频溅射方法沉积，在1064nm激光测试条件下研究了激光辐照下薄膜损伤特性的变化，寻找最优沉积工艺。研究结果表明，影响LaTiO3 薄膜激光损伤阈值变化显著程度因素按大到小分别是：
本文采用在真空蒸镀的Cu薄膜上喷雾热解InCl3和SC(NH2)2前驱液的方法,制备出CuInS2(CIS)薄膜.通过X射线衍射、紫外-可见分光光度计、扫描电子显微镜和霍尔效应测试仪等仪器对薄膜进行了表征.研究表明,该方法制备出的CIS薄膜,表面均匀且无裂纹缺陷,薄膜内不存在CuXS、In2O3、In2S3等杂相.CIS薄膜为黄铜矿结构,其结晶性能受制备过程中Cu薄膜厚度的影响,Cu含量较多时,薄
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