高品质冶金级硅(UMG-Si)中硼、铝、磷、碳、氧、钙和铁的均匀性研究

来源 :第十届中国太阳能光伏会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sykjzhb
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世界范围内单晶硅和光伏用多晶硅的短缺引发了研发热潮和高品质冶金级硅(UMG-Si)的商业化。高品质冶金级硅尽管比传统西门子法得到的多晶硅有更高的杂质含量,但是仍已成功用于一些光伏太阳能电池中。早期(约30年前)西门子法多晶硅的生产公司必须确定单个大的多晶硅棒里杂质的均匀性,这样才能知道如何对这些多晶硅棒里的杂质进行测量。换句话说,为了得到有助于工艺改进的多晶硅棒中有代表性的杂质含量,必须知道从多晶硅棒的哪个部位取出多少个样品进行分析?为了确定这种研究是否对UMG-Si有必要,在UMG-Si制造商的支持下完成了接下来的初步实验,该研究的结论对UMG-Si的生产过程将会非常重要。
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