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安全仪表系统是独立完成工艺装置安全保护的联锁系统(亦称“紧急停车系统”)。对于操作工况为有毒、有害、易燃、易爆的多晶硅生产装置，要确保安全生产就必须设置安全仪表系统来保证生产装置和作业人员的安全。如何正确设计和配置安全仪表系统，使其对装置可能出现的各类危险状况都能采取有效的联锁动作予以控制，则是多晶硅装置自动控制的重要内容之一。本文通过对安全仪表系统设置内容的介绍及在多晶硅装置中的实施，明确了如何利用该系统实现多晶硅装置的安全生产。