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本文讨论了运用亚沸蒸馏技术制备高纯水的提纯工艺.该工艺以去离子水为原料,采用两级亚沸蒸馏方法,提纯出高纯水,其主要金属离子浓度含量均小于0.1ppb.同时讨论了影响产品速率的工艺条件.
超净高纯水制备工艺的研究
【摘 要】
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本文讨论了运用亚沸蒸馏技术制备高纯水的提纯工艺.该工艺以去离子水为原料,采用两级亚沸蒸馏方法,提纯出高纯水,其主要金属离子浓度含量均小于0.1ppb.同时讨论了影响产品速率的工艺条件.
【机 构】
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华东理工大学化工学院,200237
【出 处】
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2006全国电子化学品发展研讨会
【发表日期】
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2006年4期
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