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MBE-HgCdTe薄膜基本参数的测量与评价
MBE-HgCdTe薄膜基本参数的测量与评价
来源 :第十二届全国红外科学技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rockegg2009
【摘 要】
:
分子束外延HgCdTe/CdTe/GaAs材料的红外透射光谱和理论计算结果得到了很好的吻合,用该方法得到的材料基本参数具有很好的精度和准确度,并由此获得了此延材料的均匀性参数,为HgCdTe红外焦平面制备提供了
【作 者】
:
杨建荣
何力
【机 构】
:
科学院上海技术物理研究所半导体薄膜材料研究中心红外物理国家重点
【出 处】
:
第十二届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
:
1996年期
【关键词】
:
膜基
参数
测量
材料
红外透射光谱
红外焦平面
分子束外延
性能指标
理论计算
准确度
均匀性
吻合
精度
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分子束外延HgCdTe/CdTe/GaAs材料的红外透射光谱和理论计算结果得到了很好的吻合,用该方法得到的材料基本参数具有很好的精度和准确度,并由此获得了此延材料的均匀性参数,为HgCdTe红外焦平面制备提供了重要的材料性能指标。
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