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CT成像仪由传统X射线成像技术发展而来，超高分辨率微纳CT仪能够以无损的超微分辨动态三维成像为基础，实现对被测样品亚微米尺度下的结构分析和动态观察，其相关技术是研究的前沿和热点之一。为了减小CT扫描运动对超精密CT成像的影响，提出了一种全新的物体静止状态下的高速高精度特殊扫描方式，通过解决高速扫描控制关键技术，非对称、非均匀、有限角数据校正技术和图像重建关键技术，微纳焦点高速扫描射线源技术和高分辨率平板探测器技术，实现了被测样品高速高分辨率三维静态和动态成像。