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该文详细报导了用X射线衍射研究c取向YBCO高温超导薄膜的结果。采用三种扫描方式(θ-2θ扫描、ω扫描、φ扫描)对在各种基片(SrTiO3、LaAlO3、YSZ及MgO)上生长的具有不同Tc及Jc值的c取向YBCO薄膜进行结构分析测定,确定了YBCO高温超导薄膜的结构与性能之间的关系。对未知性能的YBCO薄膜,通过简单的X射线衍射对其结构进行分析测量,便可预测其超导性能,具有简单、快速及不破坏试样等优点。此外,还讨论了如何用X射线衍射判断c取向YBCO高温超导薄膜外延生长的质量以及基片表面偏角和基片中的挛晶现象对c取向YBCO高温超导薄膜生长的影响。