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近年来，导电金属氧化物薄膜的制备、评价及应用已成为功能材料与微电子器件研究领域的一个新热点。导电金属氧化物薄膜作为铁电薄膜的底电极材料，可以降低铁电薄膜/电极界面处的氧空位浓度，从而改善铁电薄膜的极化疲劳特性。
Au/LNO纳米复合薄膜的制备及其导电性的研究
【摘 要】
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近年来，导电金属氧化物薄膜的制备、评价及应用已成为功能材料与微电子器件研究领域的一个新热点。导电金属氧化物薄膜作为铁电薄膜的底电极材料，可以降低铁电薄膜/电极界面处的氧空位浓度，从而改善铁电薄膜的极化疲劳特性。
【机 构】
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中国科学院金属研究所 沈阳材料科学国家实验室 沈阳市沈河区文化路72号 110016
【出 处】
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第十三届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2012年5期
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