多重杂质(Au、Ni)掺杂n型硅材料的热敏特性

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为了制备高B低阻的硅单晶热敏材料,采用开管涂源的方法对n型硅材料进行Au、Ni两种过渡族金属的高温掺杂。实验表明:通过多重掺杂后得到的硅单晶热敏材料,其电阻率可低至与硅片原始电阻率相近,B值保持在4500k以上.
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