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多重杂质(Au、Ni)掺杂n型硅材料的热敏特性
多重杂质(Au、Ni)掺杂n型硅材料的热敏特性
被引量 : 0次 | 上传用户:deng5384588
【摘 要】
:
为了制备高B低阻的硅单晶热敏材料,采用开管涂源的方法对n型硅材料进行Au、Ni两种过渡族金属的高温掺杂。实验表明:通过多重掺杂后得到的硅单晶热敏材料,其电阻率可低至与硅
【作 者】
:
董茂进
陈朝阳
范艳伟
丛秀云
【发表日期】
:
2008年期
【关键词】
:
多重掺杂
深能级杂质
Au和Ni
热敏特性
【基金项目】
:
国家863计划项目(2006AA03Z434)
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为了制备高B低阻的硅单晶热敏材料,采用开管涂源的方法对n型硅材料进行Au、Ni两种过渡族金属的高温掺杂。实验表明:通过多重掺杂后得到的硅单晶热敏材料,其电阻率可低至与硅片原始电阻率相近,B值保持在4500k以上.
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