【摘 要】
：
本文介绍一种基于单片机系统的在MEMS实验室应用的电镀设备.该设备主要有两个部分组成:电镀槽和脉冲电镀电源.电镀槽部分控制器采用AT89C51,采用直流电机实现电镀过程中对电
【机 构】
：
北京工业大学机械工程与应用电子技术学院,北京,100022
【出 处】
：
第十六届全国测控、计量、仪器仪表学术年会
论文部分内容阅读
本文介绍一种基于单片机系统的在MEMS实验室应用的电镀设备.该设备主要有两个部分组成:电镀槽和脉冲电镀电源.电镀槽部分控制器采用AT89C51,采用直流电机实现电镀过程中对电镀液进行搅拌,采用一线温度传感器DS18b20对电镀液温度进行测量,采用固体继电器来控制加热管对电镀液进行加热.通过键盘可以设定电机转速、电镀液温度、开启或停止搅拌等控制功能.电镀电源部分控制器采用资源丰富的ATmega128,直流电源部分采用了双闭环控制,波形产生桥路采用了大功率MOS管.本系统可以大大提高MEMS实验中电镀效率和电镀质量.
其他文献
GPIB(IEEE-488)标准在屯子测量与测试领域中的应用已经有许多年,现在仍然拥有数目庞大的用户群.LXI是一利新兴的支持现行局域网(LAN)标准的仪器技术,它的发展引人瞩目.LXI是
为解决生活在敬老院里的老人就医难的问题。库都尔林业局下拨经费和药品器械,配备医护人员,在敬老院建立了卫生所,专为院里的老人周到服务。库都尔林业局敬老院座落在库都尔
文中利用NiLabVIEW和无线数传模块,结合自行开发的LabVIEW上位机控制程序和以单片机为核心的控制系统,通过微软的MSCOMM32控件,实现了远距离无线数据传输和目标控制.对其他无
USB是应用在PC领域的新型接口技术,与传统接口相比有着无可比拟的优越性.本文介绍了CY7C68013芯片的特点,开发了基于CY7C68013的USB2.0硬件设备,设计了MTM总线USB接口的固件
转子不平衡是旋转机械发生故障的主要原因,为降低振动必须对转子进行动平衡.本文针对动平衡测试系统的特点,在对传感器信号进行前置处理的基础上,采用可编程开关电容滤波器MA
本文针对传统的驾驶员仪表板功能单一、信息量小、可靠性低、人机交互性差的缺点提出解决方案,采用总线、虚拟仪表技术,开发了一套基于CAN总线的驾驶员显控终端,给出了系统的
本文在详细说明数字荧光示波器(DPO)的远程接口和Matlab串口对象的使用方法的基础上,给出由个人计算机和DPO组成的程控测试系统的软硬件系统结构.测试结果表明,本方法简单快
本文通过采集和处理呼吸参数,获得屏气治疗所依据的肺容积值,并结合自控技术对放疗设备的出束进行控制,从而达到精确放疗的目的.初步实验证明该方法在技术上是可行的,具有临
引言万里长城——历史悠久,气势磅礴,雄伟壮观。它无愧中华民族的脊梁、象征和骄傲。有位将军触景生情,浮想连翩,感慨万千。他说:“假如把现代长城(国防设施)一个一个地连接
本文详述了IGBT的特性,分析了IGBT产生过流、过压及过热的原因.对此设计了具体的保护措施,包括缓冲电路、过流、过热电路的设计以及驱动模块EXB841的采用.分析了驱动模块EXB8