InAsGaSbⅡ型超晶格材料的微观结构研究

来源 :2012年全国电子显微学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wzhi8
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  本文利用分子束外延技术(MBE)制备了InAs/GaSbⅡ型超晶格材料,然后采用透射电镜(TEM)对材料的微观结构进行了分析,旨在为超晶格红外探测器的制备提供帮助。
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