【摘 要】
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纳米压痕试验主要用于测定微米级及以下尺度的材料表面力学性能的特点,本文基于纳米压痕实验原理,采用简化的二维模型,对薄膜材料的纳米压痕行为进行了有限元模拟.分析了薄膜
【机 构】
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中国核动力研究设计院,成都,610041
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纳米压痕试验主要用于测定微米级及以下尺度的材料表面力学性能的特点,本文基于纳米压痕实验原理,采用简化的二维模型,对薄膜材料的纳米压痕行为进行了有限元模拟.分析了薄膜的厚度对其力学性能,主要是弹性模量和硬度的影响.
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