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本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关,结合理论分析模型,介绍了一个关于光开关的计算机辅助分析(CAD)软件.该软件基于几种光开关结构,提供了关于光开关的驱动电压、响应时间、自重弯曲变形、强度条件等方面的模拟分析.最后结合实例,给出了一组优化结构参数,并给出分析结果.
2×2MOEMS光开关计算机辅助分析
【摘 要】
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本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关,结合理论分析模型,介绍了一个关于光开关的计算机辅助分析(CAD)软件.该软件基于几种光开关结构,提供了关于光开关的驱动电压、响应时间、
【机 构】
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吉林大学,集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区(吉林长春)
【出 处】
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第十届全国光电技术与系统学术会议
【发表日期】
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2003年期
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