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论述了5kW 40kHz等离子体发生电源的工作原理和研制方案,利用本研制设备,可极大改进我所聚四氟乙烯印制板过孔加工以及聚四氟乙烯、聚酰亚胺薄膜表面粘接工艺中材料表面活化技术.
5kW 40kHz等离子发生电源的研制
【摘 要】
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论述了5kW 40kHz等离子体发生电源的工作原理和研制方案,利用本研制设备,可极大改进我所聚四氟乙烯印制板过孔加工以及聚四氟乙烯、聚酰亚胺薄膜表面粘接工艺中材料表面活化
【机 构】
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南京电子技术研究所
【出 处】
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中国电子学会现代设计与先进制造技术学术会议
【发表日期】
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2001年11期
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