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本文采用自组装法在小型叉指金电极上交替沉积聚苯乙烯磺酸钠(NaPSS)和ZnO超薄膜,制得电阻型有机/无机复合湿敏元件.采用紫外-可见光谱,以及接触角试验等对成膜过程进行监测.通过原子力显微镜测试来表征制备复合膜的形貌.采用复阻抗谱分析法测定了制得湿敏元件在不同湿度下的复阻抗响应,研究了NaPSS和ZnO浓度,复合膜层数,复合膜最外层及表面层材料等对于元件湿敏响应特性的影响.