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比较了制作LiNbO<,3>脊形波导的两种制作工艺——DE工艺和ED工艺,并介绍了一种新型自对准技术.在未来应用的集成光学器件制作中,这种自对准制作技术具有很大的应用潜力.
Ni扩散LiNbO脊形波导MZ调制器制作技术
【摘 要】
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比较了制作LiNbO脊形波导的两种制作工艺——DE工艺和ED工艺,并介绍了一种新型自对准技术.在未来应用的集成光学器件制作中,这种自对准制作技术具有很大的应用潜力.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十四研究所
【出 处】
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第二届中国光纤器件发展研讨会
【发表日期】
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2004年6期
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