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Researching of the Oxidation Mechanism in Silicon Film Deposition Using Atmospberic Pressure Ar/H2/S
【机 构】
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School of Physics and Optoelectronic Technology,Dalian University of Technology,Dalian,116024,China
【出 处】
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第十五届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
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2011年期
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