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本文简单介绍了DSOI技术,并提出了体硅,SOI及DSOI MOSFET的热阻模型.进而对体硅,SOI MOSFET器件,特别是DSOI MOSFET的热学特性进行数值计算,比较其计算结果并做出相应的分析.
体硅,SOI和DSOI MOSFET的热分析
【摘 要】
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本文简单介绍了DSOI技术,并提出了体硅,SOI及DSOI MOSFET的热阻模型.进而对体硅,SOI MOSFET器件,特别是DSOI MOSFET的热学特性进行数值计算,比较其计算结果并做出相应的分析.
【机 构】
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清华大学工程力学系(北京)
【出 处】
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中国工程热物理学会传热传质学学术会议
【发表日期】
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2001年期
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