【摘 要】
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<正>本项目为国家质量技术监督局青年基金项目,并于1999年10月通过了国家质量技术监督局主持的专家鉴定。扩展电阻技术是微电子领域中进行微区电特性测量的有用测试技术。本项目研究了扩展电阻技术并且在半导体材料、集成电路工艺监控、失效分析和新器件开发等领域进行了系统、深入、广泛的应用研
【机 构】
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中国分析测试协会科学技术奖发展回顾
【出 处】
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中国分析测试协会科学技术奖发展回顾
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<正>本项目为国家质量技术监督局青年基金项目,并于1999年10月通过了国家质量技术监督局主持的专家鉴定。扩展电阻技术是微电子领域中进行微区电特性测量的有用测试技术。本项目研究了扩展电阻技术并且在半导体材料、集成电路工艺监控、失效分析和新器件开发等领域进行了系统、深入、广泛的应用研
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