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为准确评定类石墨非晶碳膜的热磨损性能水平和非Cr组元掺杂的迟滞氧化作用效果,澄清磨损性能评定方法与实际服役热磨损进程出入程度不同而产生的评定结果偏差,探讨多元掺杂类石墨非晶碳膜的热磨损行为及其失效主导因素和机制,本文采用磁控溅射方法制备了不同Mo、Si含量的Mo-Cr-C、Si-Cr-C三元非晶碳膜及梯度结构、尺度相似的Cr-C二元非晶碳膜作为对照组样品,在接触载荷、磨损时间、线速度相同的条件下,借助更接近实际热磨损工况的直接热磨损和主流的高温预氧化后常温磨损两种磨损试验方法,检测薄膜在不同温度条件