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近年来,采用微机械非制冷红外探测器实现热成像是MEMS领域和光学成像领域的研究热点。本文对实验室测辐射热计器件的首次制备经历进行研究,分析了器件设计及工艺制备中存在的问题,提出优化方案,选择在氧化硅基底上获得更优热敏性能的氧化钒薄膜,确定了基于MEMS牺牲层技术和绝热层技术的多孔硅工艺制备参数,改进了原有工艺制备方案,同时开发了基于多孔硅绝热层技术的测辐射热计制造工艺。论文首先采用直流对靶反应磁控溅射的方法在氮化硅和氧化硅基底上制备氧化薄膜,并对其进行热敏性能测试,研究表明,氧化硅基底上制