【摘 要】
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黄光激光器广泛应用于军用和民用领域,为了提高黄光激光器的信噪比,对无用光信号进行过滤,采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料,通过电子枪蒸发及离子辅助沉积技术,制备589nm,
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黄光激光器广泛应用于军用和民用领域,为了提高黄光激光器的信噪比,对无用光信号进行过滤,采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料,通过电子枪蒸发及离子辅助沉积技术,制备589nm,1064nm,1178nm,1342nm波长处分别有特定透过率的干涉截止滤光片。在实际镀制过程中,由于沉积工艺条件不同导致材料折射率的不稳定,另外监控方法造成的误差,通过调整优化工艺参数并调整膜系,有效控制膜厚监控精度,提高了对应波长的光学性能。经过高温,潮湿等恶劣环境测试,该滤光片满足黄光激光器的使用要求。
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