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该论文用不同法来实现硅基纳米结构:或以染色腐蚀法制备的孔硅,或以磁控溅射制备富硅二氧化硅,或采用离子注入来实现的纳米结构.通过系统研究它们的发光性质,探讨了某些稳定结构的硅基纳米半导体的光致发光和电致发光的特性和机制,取得了一些新的成果.
染色腐蚀多孔硅的光致发光和离子注入富硅二氧化硅的电致发光
【摘 要】
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该论文用不同法来实现硅基纳米结构:或以染色腐蚀法制备的孔硅,或以磁控溅射制备富硅二氧化硅,或采用离子注入来实现的纳米结构.通过系统研究它们的发光性质,探讨了某些稳定
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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北京大学
【发表日期】
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1999年期
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