硅基类行波F-P谐振腔光子器件研究

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微电子极大推动了人类生活的发展,随着对传输速率和带宽的要求,传统电互联慢慢不满足发展的需要。硅基光子学因其高传输带宽、低成本等优势广泛用于光学芯片、光学计算和光纤通信领域中。上下话路滤波器是实现波长复用系统的关键组件,实现上下话路滤波器性能的结构主要是微环谐振器和光子晶体。随着微环半径的减小,环内的弯曲损耗增大。同时,微环谐振腔的输入端和输出端在同一侧,级联时额外的交叉增加器件的设计复杂度,也增加了整体谐振腔的尺寸。光子晶体波导和单腔组成的上下话路结构的下话路端效率不高。增加到两个腔的干涉相消可以提高下话路端效率,但增加器件尺寸。此外,光子晶体的制作工艺复杂,工艺重复性差。基于以上背景,本论文将介绍一种基于类行波法布里珀罗谐振腔(Fabry–Pérot Resonator,简称F-P腔)结构的新型上下话路滤波光子器件。该新型光子器件利用单个谐振腔,不需要额外的设计结构就实现光波定向传播,有着设计灵活、尺寸小,低损耗的优势。类F-P腔由一个直波导和两个模式反射镜组成,尺寸为34.5×1μm~2;模式反射镜反射效率达到95%,带宽80nm以上。该上下话路滤波器仿真模拟得到下话路端效率93%,品质因子达到1300。目前制作的上下话路滤波器,谐振波长处的下话路端效率也能达到68%,仅有8%的光留在直通端,品质因子为1007。增大腔长L到600μm时,品质因子可达到22000。
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