因其良好的液氮温度下的磁场性能、潜在的低制备成本和较低的交流损耗,第二代钇系YBa₂Cu₃O7_-δ（YBCO）高温超导带材受到普遍关注,有着广泛的应用前景,如超导发电机、超导电动机、超导输电电缆、超导磁储能等。目前超导层的沉积工艺很多,而金属有机化学气相沉积（MOCVD）工艺能够在长的柔性金属基带上实现连续、快速、均匀沉积,极具开发价值。本论文采用自制MOCVD系统,在CeO₂/YSZ/Y₂O₃/NiW短样上沉积YBCO薄膜,为后期连续化生产YBCO进行基础实验研究。内容如下:1、改进自制MOCVD系统设计并改进了MOCVD系统的进液装置,降低了发生堵塞的几率,较好的实现了金属有机前驱液以雾状气体送入蒸发皿,促进闪蒸的进行。同时对蒸发皿进行改进,将底部加热器改为旋转铜盘,及时清除未蒸发的金属有机源残余物,提升了蒸发效果。此外,采用CFD软件对MOCVD系统内部反应室进行了气流场和温度场的计算机模拟,对于调整反应条件、优化反应器设计具有重要意义。2、改善金属有机源的制备方式金属有机源的纯度、品质是影响MOCVD工艺沉积YBCO薄膜质量的最为关键因素之一。通过改善制备流程,进行提纯,添加助配体,总结出了一套较为实用的金属有机源制备工艺,满足了实验中需求,为研究的顺利进行提供了原料保证。3、优化金属基带上沉积YBCO的工艺参数选用CeO₂/YSZ/Y₂O₃作为YBCO薄膜与金属NiW基带之间的过渡层,综合调节温度、氧分压、金属有机源配比等工艺参数,研究每一项参数的影响规律,成功制备了完全c轴取向的YBCO薄膜,实验验证重复性较好。