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随着电子器件不断的微型化,加之微电子机械系统(Micro-Electronic Mechanical Systems, MEMS)技术发展的需要,常规电池组成的能源供应系统普遍比其要支持的微型系统大,因此全固态薄膜锂离子电池的研究日益为人们所重视。锂离子电池的性能主要取决于所用电池内部材料的结构和性能。而正极材料的开发是制约锂离子电池性能进一步提高的重要因素。尽管本文则选择了目前研究较为成熟,并且已经投入商业化运作的正极材料LiCoO2作为研究对象,但是该材料在作为全固态薄膜电池的正极材