【摘 要】
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该文利用X射线衍射手段,对Mo/BC多层膜的周期结构和界面粗糙等当前广泛受到物理学家和材料学家关注的问题进行了研究.通过X射线衍射方法对Mo/BC多层膜进行了研究.结果表明,研
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该文利用X射线衍射手段,对Mo/B<,4>C多层膜的周期结构和界面粗糙等当前广泛受到物理学家和材料学家关注的问题进行了研究.通过X射线衍射方法对Mo/B<,4>C多层膜进行了研究.结果表明,研究人员制备的Mo/B<,4>C多层膜的界面平整、光滑、清晰,具有严格的周期性,并且能在制备过程中对膜厚进行精确地控制;界面粗糙度对多层膜的性能影响较大,随着粗糙度的增加,X射线小角衍射峰的级数逐渐减少、衍射强度也呈下降趋势,证明了多层膜的界面间清晰度逐渐下降,通过对不同衬底的Mo/B<,4>C多层膜的X射线衍射分析,得出粗糙度有一层接一层复制上去的倾向;通过对时效处理样品的X射线衍射分析,得出,研究人员制备的Mo/B<,4>C多层膜在常温下具有良好的稳定性,界面间没有出现扩散和反应现象;利用X射线高角衍射分析得出,研究人员制备的Mo/B<,4>C多层膜存在结晶峰,而且退火温度的升高,结晶越来越好.而另一方面,由于在X射线小角衍射谱中Mo/B<,4>C多层膜衍射峰的级数逐渐减少、强度逐渐减弱,说明了退火后,多层膜界面发生了较大变化,界面粗糙度明显增加.
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