【摘 要】
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该文利用离子束辅助沉积(Ion Beam Assisted Deposition)技术在医用不锈钢317L样品表面、Si片(100)样品表面沉积制备TiN陶瓷薄膜,研究了薄膜的机械性能和摩擦学性能,包括薄膜
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该文利用离子束辅助沉积(Ion Beam Assisted Deposition)技术在医用不锈钢317L样品表面、Si片(100)样品表面沉积制备TiN陶瓷薄膜,研究了薄膜的机械性能和摩擦学性能,包括薄膜表面的纳米硬度、耐磨、摩擦系数以及薄膜与基底的附着力;通过X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的结构特征;运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hanks模拟体液中的耐腐蚀性能;最后采用成纤维细胞、骨髓细胞体外培养试验考察了生长于不同薄膜表面的细胞粘附、增殖、展布情况及细胞的形态;并尝试研究了薄膜的结构特征、机械性能、耐腐性能、生物相容性与制备工艺参数之间的规律.研究表明,用IBAD方法在医用不锈钢317L表面沉积TiN薄膜,使其表面结构和性能发生明显改变,表面硬度和耐磨性能有明显提高,在Hanks模拟体液中的抗腐蚀性能也显著提高,细胞体外培养结果表明植入材料表面的生物相容性有显著改善,为其临床应用提供具有参考价值的实验数据.
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