该文详细讨论了一种新型电容式三维微硅加速度传感器的方案设计、工艺流水以及样品的结果测试.论文首先对微硅加速度传感器的发展进行了综述,结合国内外关于微硅加速度传感器研究的代表性产品,讨论微硅加速度传感器的发展状况.论文其次从结构及检测机构上需要介绍加速度传感器的原理,分别对三种主要类型的加速度计:压阻式、电容式和隧道效应式加速度传感器进行了横向及纵向比较;对于目前的研究热点--三轴加速度计,结合国内外的设计方案,并进行比较,设计出一种新颖的具有完全对称结构的方案,以利于提高实用性能,便于设计制作.论文详细讨论了采用固支梁结构的三维微硅加速度传感器的结构参数设计.论文给出了电容式三维微硅加速度计的工艺流程,对其中的重点工艺,如浓度自停止腐蚀、ICP刻蚀等进行重点介绍,对硅片的KOH腐蚀实验进行讨论,并对重点工艺--桥墩、检测质量块、固支梁的浓硼扩散进行SUPREM工艺模拟.通过工艺流水,设计出三维微硅加速度传感器的样品,对样品进行结构参数的测试.对误差进行量化分析.最后,提出该加速度计设计方案的改进意见.