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在航天、航空、航海领域中会经常用到电液伺服阀作为控制器件,在电液伺服阀中精密弹性元件被广泛地用作力敏单元通过受力形变来获得反馈信号,所以这些精密弹性元件的刚度参数直接关系到控制器件或者导航器件的性能,在生产过程中需要严格控制。反馈杆和弹簧管是电液伺服阀中常用的弹性元件,本文就其刚度测量原理、方法进行了分析,研制了一台基于CCD(Charge-coupled Device)的精密弹性元件刚度测量仪。本文分析了反馈杆和弹簧管的测量原理,提出刚度测量仪总体方案。本测量仪采用计算机控制步进电