基于氮化镓通信波段可调DFB激光器的研究

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光网络技术的不断发展对通信系统的光源提出了更高的要求,尤其在下一代高速大容量相干光通信系统中,可调谐半导体激光器的引入能够有效减少系统冗余,降低开销成本和提高网络灵活率。可调谐DFB激光器由于其良好的单纵模性能而成为目前主要发展方向之一,本文通过建立基于氮化镓的DFB激光器谐振腔二维稳态模型,对光栅区不同结构参数进行模拟分析,并提出利用微驱动器实现激光器波长可调,分析了该结构方案的可行性,旨在为器件的设计及后期制备提供指导。本文首先阐述了DFB激光器基本工作原理,结合耦合波理论及介质平板波导理论计算DFB激光器谐振腔关键结构参数及单模输出条件。然后利用基于有限元理论软件COMSOL对DFB激光器的GaN谐振腔建立二维仿真模型,重点探讨了不同光栅高度、光栅宽度及光栅周期对1550nm激光谐振峰的影响,分析了实验中可能出现的结构参数的微小误差对激射波长的影响,为光栅的设计和制备提供数据支撑。最后针对波长可调谐的实现方式,提出将基于氮化镓的静电梳状微驱动器和悬空的氮化镓自支撑共振光栅集成起来,利用悬空的自支撑氮化镓共振光栅实现激光的选频增益放大,结合硅基光微机电系统技术和微加工技术实现氮化镓共振光栅的周期可调,从而实现激光的波长可调,静电梳状驱动器为光栅周期的变化提供可执行功能。结合二维仿真模型,通过数值上的可行性分析,得到了整个C波段施加电压与激射波长的关系,为今后设计和制备波长可调DFB激光器提供一定的参考。
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