【摘 要】
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金刚石薄膜具有一系列优异的性能,有广泛的应用前景.该文采用O/CH火焰在Ta、Ta-10W、W等基底上进行了金刚石薄膜的沉积试验,研究了O/CH比值、基底温度、基底材料等参数对沉积
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金刚石薄膜具有一系列优异的性能,有广泛的应用前景.该文采用O<,2>/C<,2>H<,2>火焰在Ta、Ta-10W、W等基底上进行了金刚石薄膜的沉积试验,研究了O<,2>/C<,2>H<,2>比值、基底温度、基底材料等参数对沉积过程的影响,研究了低O<,2>/C<,2>H<,2>比值处理、涂油处理、研磨膏预处理、振动球磨预处理对金刚石薄膜形核的影响.
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