SnO<,2>薄膜的PECVD法制备及其在CdTe电池中的应用研究

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二氧化锡(SnO_2)是一种宽带隙的金属氧化物。SnO_2 薄膜具有可见光透过性强、紫外吸收系数大、有一定红外反射能力、化学性能稳定以及室温下抗酸碱能力强等优点。已经广泛应用于太阳电池、透明电极材料、气敏材料、光电材料以及电热材料等领域。本文依托863 计划“CdTe 薄膜太阳电池制造技术及中试生产线”,重点研究了SnO2薄膜在太阳电池上的作为透明高阻层(HRT)应用。CdTe 电池作为目前最有广泛应用前景的一种薄膜太阳电池,其材料制备上的研究已经开展的很普遍,为了进一步提高电池效率,已经开始在电池
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