小轻型CCD相机中非球面镜的检测

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小轻型CCD相机光学系统的三镜也是一个椭球面,并且其一对无像差共轭点的位置适合于直接利用无像差共轭点的特性进行测量,利用简单的单个辅助球面反射镜即可.在论文中,对上述各检测方案中所需元件的精度要求进行了讨论.对检测次镜所用的补偿系统给出了系统误差检测与消除方法.最后,根据实际条件,利用ZYGO干涉仪对三镜进行了实际检测.通过对检测过程中可能引入的各种误差进行分析,结果表明,所测得的结果真实可信.研究人员提出的测量方案,对于其他的光学非球面加工、检测以及从事非球面光学系统设计人员也有重要的参考价值.
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